南京半導(dǎo)體超純水設(shè)備
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半導(dǎo)體(semiconductor)指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體材料很多,按化學(xué)成分可分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類,鍺和硅是最常用的元素半導(dǎo)體?;衔锇雽?dǎo)體包括Ⅲ-Ⅴ族化合物:砷化鎵、磷化鎵等;Ⅱ-Ⅵ族化合物:硫化鎘、硫化鋅等;氧化物:錳、鉻、鐵、銅的氧化物,以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體:鎵鋁砷、鎵砷磷等。除上述晶態(tài)半導(dǎo)體外,還有非晶態(tài)的玻璃半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體等。
半導(dǎo)體的生產(chǎn)必須要用的超純水,創(chuàng)純超純水設(shè)備工藝為:原水儲(chǔ)罐---原水泵---多介質(zhì)過(guò)濾器---活性炭過(guò)濾器---精密過(guò)濾器---一級(jí)高壓泵---一級(jí) RO 處理系統(tǒng)---一級(jí)RO水箱---二級(jí)高壓泵---二級(jí) RO 處理系統(tǒng)---二級(jí)RO水箱--- EDI泵---UV燈---保安過(guò)濾器---EDI裝置---氮封水箱
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