超純水設(shè)備在半導體、光伏各行業(yè)中的應(yīng)用
【蘇州純水設(shè)備】一、超純水在晶體管、集成電路生產(chǎn)中的應(yīng)用
在光伏行業(yè)晶體管、集成電路生產(chǎn)中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。
集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導致器件性能變壞;水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差;水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良;重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結(jié)耐壓降低;III族元素 (B、Al、Ga等)會使N型半導體特性惡化;V族素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡化。
二、超純水在光伏行業(yè)電子管中的應(yīng)用
在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中,電子管陰極需噴涂碳酸鹽。如其中混入雜質(zhì),就會影響電子的發(fā)射,進而影響電子管的放大性能及壽命,因此其配液要使用超純水。蘇州超純水設(shè)備
在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),是鋅或其他金屬的硫化物組成的熒火粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成,其配制需用超純水,如超純水中含銅在8ppb以上,就會引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會使發(fā)光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。
在顯像管熒光屏生產(chǎn)的工序中,玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等工序需使用純水,每生產(chǎn)一個晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液,如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質(zhì),就會使液晶顯示電路發(fā)生故障,影響液晶屏質(zhì)量,導致報廢、次品。
三、超純水設(shè)備工藝流程
采用雙極反滲透+EDI以及拋光混床工藝,產(chǎn)水水質(zhì)符合光伏、半導體行業(yè)用超純水,具有產(chǎn)水穩(wěn)定,操作簡單,節(jié)能環(huán)保等優(yōu)點。工藝流程如下:
原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化裝置→加藥裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透系統(tǒng)→中間水箱→二級高壓泵→二級反滲透系統(tǒng)→純水箱→純水泵→精密過濾器→EDI裝置→超純水箱→拋光混床→微孔膜過濾器→氮封水箱→生產(chǎn)線用水點
(1) 多介質(zhì)過濾器:去除水中泥沙、雜質(zhì)、懸浮物以及其它微粒等降低水的濁度。
(2) 活性炭過濾器:利用碳的吸附原理吸附水中異色、異味、余氯等。
(3) 軟化裝置:置換水中鈣鎂離子,降低水的硬度。
(4) 拋光混床:進一步提升水質(zhì),保證出水符合要求。蘇州EDI純水處理設(shè)備
四、超純水設(shè)備特點
(1)系統(tǒng)采用雙極反滲透+EDI以及拋光混床模塊,確保水質(zhì)穩(wěn)定,長效運行。
(2)通過合理的技術(shù)設(shè)計,最大限度的提高系統(tǒng)回收率,降低能耗和運行成本。
(3)配備專門的有化學清洗系統(tǒng),可定期對反滲透進行化學清洗,以確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行。
(4)采用PLC加觸摸屏控制系統(tǒng),操作方便,運行穩(wěn)定。蘇州反滲透純水設(shè)備 蘇州實驗室純水設(shè)備
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