半導(dǎo)體超純水設(shè)備工藝流程
【蘇州純水設(shè)備】在半導(dǎo)體、芯片行業(yè)中對(duì)產(chǎn)線用水水質(zhì)有很高的要求,同時(shí)超純水設(shè)備是否能安全穩(wěn)定運(yùn)行對(duì)產(chǎn)線來說也是至關(guān)重要的。下面簡明的對(duì)超純水設(shè)備工藝進(jìn)行對(duì)比,根據(jù)用水要求以及現(xiàn)場實(shí)際情況選擇合理的方案。
1、原水→預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水點(diǎn)(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2、原水→預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
3、原水→預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→二級(jí)反滲透→純水箱→純水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥17MΩ.CM)(最新工藝)
4、原水→預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→二級(jí)反滲透→純水箱→純水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(diǎn)(≥18MΩ.CM)(最新工藝)蘇州反滲透純水設(shè)備 蘇州EDI純水處理設(shè)備 蘇州工業(yè)純水設(shè)備 蘇州超純水設(shè)備 蘇州實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備 蘇州醫(yī)用純化水設(shè)備
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